Formkorrektur von Glassubstraten Die unbeabsichtigte Verformung von optischen Substraten ist ein häufiges Problem in der Optiktechnologie. Mechanische Spannungen in dünnen Schichten können sich negativ auf die Qualität der optischen Komponenten auswirken, indem sie das darunterliegende Substrat deformieren. Dieses Patent beschreibt ein Verfahren zur Korrektur von Abbildungen, das auf Spannungen basiert, die durch die Bestrahlung von Glassubstraten mit einem Excimer-Laser induziert werden.